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如何維護(hù)使用RTP快速退火爐

更新時(shí)間:2016-08-10    點(diǎn)擊次數(shù):7337
RTP快速退火爐的維修使用:

1)爐子使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。

2) 爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷,屬正常現(xiàn)象。

3) 冷爐使用時(shí),由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過(guò)快,各溫度段的升

溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。

4)定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。

5)爐子使用過(guò)一段時(shí)間后,若真空度降低,可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統(tǒng),以提高系統(tǒng)的整體真空度。

6)爐子在工作過(guò)程中,一般在300℃左右若控制偏差還不能消除,出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過(guò)大,檢查參數(shù)“M5、P、t”設(shè)置是否。

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